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佳能光刻機(jī)價(jià)格或比ASML EUV設(shè)備便宜更多

DoNews11月6日消息,佳能計(jì)劃將其新型芯片制造設(shè)備的定價(jià)定在ASML最先進(jìn)的光刻機(jī)成本的一小部分,以期在尖端設(shè)備領(lǐng)域取得進(jìn)展。

集微網(wǎng)報(bào)道,佳能CEO三井藤夫表示,該公司的新納米壓印技術(shù)將為小型半導(dǎo)體制造商生產(chǎn)先進(jìn)芯片開辟一條道路,目前這種技術(shù)幾乎完全屬于該行業(yè)最大的公司。這款產(chǎn)品的價(jià)格將比ASML的EUV設(shè)備低一位數(shù),不過(guò)最終的定價(jià)決定還沒(méi)有做出。

據(jù)悉,ASML是極紫外光刻工具的唯一供應(yīng)商,極紫外光刻工具是世界上最先進(jìn)的芯片制造機(jī)器,每臺(tái)價(jià)值數(shù)億美元。EUV設(shè)備是數(shù)十年研究和投資的產(chǎn)物,對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)速度最快、最節(jié)能的芯片至關(guān)重要。

只有少數(shù)現(xiàn)金充裕的公司有能力投資于這些工具,這些工具目前正因其在科技供應(yīng)鏈中的關(guān)鍵地位而受到審查。在美國(guó)向其盟友施壓,要求其限制技術(shù)流向中國(guó)之后,ASML被禁止向中國(guó)客戶出口EUV系統(tǒng)。

這給佳能上個(gè)月上市的新工具帶來(lái)了希望。7月,日本擴(kuò)大了對(duì)芯片制造出口的限制,但沒(méi)有明確提到納米壓印光刻技術(shù)。三井藤夫稱,佳能可能無(wú)法將這些機(jī)器運(yùn)往中國(guó)。14納米技術(shù)以外的任何產(chǎn)品都是禁止出口的。

據(jù)了解,佳能與大日本印刷和存儲(chǔ)芯片制造商鎧俠合作研究納米壓印工藝已有近十年的時(shí)間。與通過(guò)反射光工作的極紫外光刻技術(shù)不同,佳能的技術(shù)將電路圖案直接印在晶圓上,從而制造出據(jù)稱與最先進(jìn)節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)膸缀涡螤畹男酒?,盡管速度要慢得多。

這臺(tái)新機(jī)器讓芯片制造商可以選擇降低對(duì)代工廠的依賴,同時(shí)也讓臺(tái)積電和三星電子等代工芯片制造商更有可能批量生產(chǎn)芯片。佳能表示,這種機(jī)器所需的功率只有其EUV同類產(chǎn)品的十分之一。

三井藤夫表示:“我不認(rèn)為納米壓印技術(shù)會(huì)取代EUV,但我相信這將創(chuàng)造新的機(jī)會(huì)和需求,我們已經(jīng)收到了很多客戶的咨詢?!?/p>

標(biāo)簽: 佳能
佳能光刻機(jī)價(jià)格或比ASML EUV設(shè)備便宜更多
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