国产一区高清|日韩精品一区人妻|曰夲AV一区二区|美日韩一区二区三区|国产喷水在线观看|狼友网站成人大全|欧美日韩制服中文视频在线|久草加勒比手机在线|婷婷色综合无码专区|japanese 精品视频在线观看

天眼查App顯示，盛美半導體設備（上海）股份有限公司于2023年6月28日申請了一項名為“電鍍設備及電鍍設備的清洗方法”的發(fā)明專利，并于2024年12月31日正式公開。該專利由花宇和楊宏超共同發(fā)明，旨在解決電鍍設備在清洗過程中存在的死角問題。

根據(jù)專利摘要，該電鍍設備包括一個清洗單元，該單元能夠噴射至少兩個液柱，這些液柱穿過活動空間并噴射至晶圓支撐環(huán)上。通過這種設計，液柱在不被支撐柱遮擋的情況下，能夠在晶圓支撐環(huán)上形成至少兩個不重疊的清洗區(qū)域。當驅動裝置驅動支撐柱傳動晶圓夾盤及晶圓支撐環(huán)做中心旋轉運動時，至少有一個清洗區(qū)域不被支撐柱遮擋，從而實現(xiàn)對支撐柱產(chǎn)生的清洗死角進行補充清洗。

該技術的創(chuàng)新之處在于通過雙液柱的設置，避免了電鍍液清洗不徹底的問題，進而大大提高了晶圓的良率。這一技術的應用有望在半導體制造領域帶來顯著的生產(chǎn)效率提升和成本降低。

風險警告：本文根據(jù)網(wǎng)絡內容由AI生成，內容僅供參考，不應作為專業(yè)建議或決策依據(jù)。用戶應自行判斷和驗證信息的準確性和可靠性，本站不承擔可能產(chǎn)生的任何風險和責任。內容如有問題，可聯(lián)系本站刪除。