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天眼查App顯示，上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司于2023年6月30日公開(kāi)了一項(xiàng)名為“一種清洗液”的發(fā)明專(zhuān)利，專(zhuān)利號(hào)為CN202310795357.2。該清洗液的原料包括氧化劑、胺類(lèi)有機(jī)物、氟化物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑以及水，各組分質(zhì)量分?jǐn)?shù)之和為100%。

該清洗液具有多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，包括較佳的穩(wěn)定性、對(duì)蝕刻后殘余物的清洗效果、選擇性移除TiN硬掩模的能力，以及抑制銅或銅合金及鈷或鈷合金損傷的特性。這些特性使得該清洗液在半導(dǎo)體制造過(guò)程中具有廣泛的應(yīng)用前景。

上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司位于上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)，是一家專(zhuān)注于半導(dǎo)體材料研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)。此次公開(kāi)的專(zhuān)利進(jìn)一步展示了該公司在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和創(chuàng)新能力。

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